| ISO 83731:2001(JIS
B8392-1:2003)規格改正について |
| １． |
改正の背景 |
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ISO8573-1の制定された1991年に比べ、半導体産業を筆頭に各市場でより高い清浄度の圧縮空気が必要とされる時代となり、従来の規格の内容では市場の要求を満たすことが困難となってきたため、2001年にISO規格が変更され、2003年にJIS規格も変更となっています。 |
| ２． |
改正内容 |
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（１） |
規格名称の変更 |
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汚染物質及び品質等級→汚染物及び清浄等級 |
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（２） |
固体粒子の等級の変更 |
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０等級追加、また従来１、２等級が１〜５等級に区分けされ、粒径、個数が１ｍ3あたりの最大数に変更。 |
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| 改正前 |
改正後 |
| 等級 |
最大粒子
寸法
（μm） |
最高濃度
(mg/m3) |
等級 |
１m3当たりの最大粒子数 |
粒径
μm |
濃度
mg/m3 |
| 粒径 d μm |
| ≦0.10 |
0.10＜d≦0.5 |
0.5＜d≦1.0 |
1.0＜d≦5.0 |
| - |
− |
− |
0 |
等級1より厳しい条件で
使用者と納入業者によって決定する。 |
適用外 |
適用外 |
1
2 |
0.1
1 |
0.1
1 |
1 |
- |
100 |
1 |
0 |
| 2 |
- |
100000 |
1000 |
10 |
| 3 |
- |
- |
100000 |
500 |
| 4 |
- |
- |
- |
1000 |
| 5 |
- |
- |
- |
20000 |
| 3 |
5 |
5 |
6 |
適用外 |
≦5 |
≦5 |
| 4 |
15 |
8 |
7 |
適用外 |
≦40 |
≦10 |
| 5 |
40 |
10 |
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|
（３） |
湿度と水分の等級の変更 |
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０等級、水分の等級が追加され、圧力露点が明確に区分け。 |
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| 改訂前 |
改訂後 |
| 等級 |
最低圧力露点 ℃ |
湿
度
の
等
級 |
等級 |
圧力露点 ℃ |
| - |
- |
0 |
等級1より厳しい条件で
使用者と納入業者によって決定する。 |
| 1 |
-70 |
1 |
≦-70 |
| 2 |
-40 |
2 |
≦-40 |
| 3 |
-20 |
3 |
≦-20 |
| 4 |
+3 |
4 |
≦+3 |
| 5 |
+7 |
5 |
≦+7 |
| 6 |
+10 |
6 |
≦+10 |
| 7 |
規定しない |
- |
- |
| |
|
水
分
の
等
級 |
等級 |
水分濃度Cwg/m3 |
| |
|
7 |
Cw≦0.5 |
| |
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8 |
0.5<Cw≦5 |
| |
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9 |
5＜Cw≦10 |
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（４） |
オイル等級の変更 |
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０等級追加、5等級が削除されオイル総濃度表記となり明確に区分け。 |
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| 改訂前 |
改訂後 |
| 等級 |
最高濃度 mg/m3 |
等級 |
オイル総濃度
（液状オイル、エアロゾル、及び蒸気）
mg/m3 |
| |
|
0 |
等級1より厳しい条件で
使用者と納入業者によって決定する。 |
| 1 |
0.01 |
1 |
≦0.01 |
| 2 |
0.1 |
2 |
≦0.1 |
| 3 |
1 |
3 |
≦1 |
| 4 |
5 |
4 |
≦5 |
| 5 |
25 |
|
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